真空泵是一種用于制造、研究和分析高真空環(huán)境的設備，它起到將氣體從一個封閉空間中抽出的作用。真空泵的主要原理是通過使泵室內(nèi)的氣體分子在泵殼壁上碰撞、吸附和擴散的作用下，逐漸降低泵室內(nèi)的氣體壓力，達到一定的真空度。一般情況下，真空泵采用機械泵、分子泵、擴散泵等多種方式進行真空抽取。

　　隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術在生產(chǎn)和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

　　常見的真空泵故障有以下幾種：

　　1.泵體溫度升高，散熱不良。潤滑油不足或混水。

　　解決方法：檢查或更換潤滑油，將散熱器清洗干凈，減少摩擦造成的熱量。

　　2.泵室漏氣現(xiàn)象。泵室密封圈損壞或泵室內(nèi)部零件松脫。

　　解決方法：更換泵室密封圈或緊固松動的零件，加強檢查，確保泵室內(nèi)部密封良好。

　　3.真空度下降。進氣口卡垢或泵室密封圈老化開裂。

　　解決方法：清洗進氣口或者更換密封圈，加強防塵措施。

　　4.泵機異響或運行不平穩(wěn)。機械部件磨損或輸出軸不平衡。

　　解決方法：更換磨損的機械元件或輸出軸，精調輸出軸的平衡狀態(tài)。